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 X射線測定應力以衍射花樣特征的變化作為應變的量度。具有非破壞性，可測小范圍局部應力，可測表層應力，可區(qū)別應力類型、測量時無需使材料處于無應力狀態(tài)等優(yōu)點，但其測量精確度受組織結(jié)構(gòu)的影響較大，X射線也難以測定動態(tài)瞬時應力。

宏觀應力的測定 宏觀殘留應力的方向和大小，直接影響機器零件的使用壽命。利用測量點陣平面在不同方向上的間距的變化，可計算出殘留應力的大小和方向。
微觀應力的測定 由衍射花樣的形狀和強度可計算晶粒和微應力的大小。